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高效的 AMHS 解决方案

产品中心

ZEUS™ 硬件

它实现半导体晶圆厂搬运与存储的自动化，确保 FOUP 精准搬运，
优化空间利用，并以无缝的系统集成保障稳定高效的运行。

Lifter

Lifter（提升机）在半导体生产中承担不同楼层之间硅片的转运任务，
借助先进的自动化技术，实现快速、精准、高效的作业，大幅减少对人力的依赖并降低制程中的失误。Lifter 可与输送线、存储系统等其他 AMHS 设备无缝集成，构成全自动物流网络；由中央控制系统统一调度这些集成，实现产线的高度自动化。作为现代半导体制造不可或缺的一环，AMHS Lifter 带来更高的效率、可靠性与生产品质。


  • 核心特点
  • • 高效完成楼层之间的硅片转运。
  • • 以自动化工艺减少人工投入。
  • • 最大限度降低制程失误。
  • • 与输送线与存储系统集成。
  • • 通过集中控制实现全面自动化。
  • • 提升产线效率与可靠性。