高效的 AMHS 解决方案
尊芯提供高度集成的 AMHS 解决方案,将硬件与软件无缝融合,
打造可预测、自动化、面向未来的半导体制造系统。
ZEUS™ 与 Phoenix Suite™
ZEUS™ 硬件涵盖 OHT、Stocker、MTH 等,与 PHOENIX SUITE™ 控制系统完全集成,并可与工厂现有系统无缝兼容。MCS 负责管理并整合 OCS、SCS 等底层 AMHS 控制系统,RMS 与 VOS 则提供实时监控与虚拟仿真,助力运营优化。
集成化 AMHS 架构
尊芯的硬件与软件无缝连接,在半导体自动化中优化性能与可扩展性。
AMHS 设备
ZEUS™ 天车系统
面向 Giga 级晶圆厂优化,即使在最复杂的生产环境中也能保持流畅的 AMHS 表现。
系统层级
Phoenix Suite™ 软件套件
Phoenix Suite™ 可与尊芯硬件及其他 AMHS 系统无缝集成,确保快速稳定的运行。
尊芯 Phoenix Suite™
Phoenix Suite™ 将高性能设备与智能控制统一起来,实现实时
应变、弹性扩展与精准优化。
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